工作原理
在一定溫度下，普氮中的殘氧與碳載催化劑發(fā)生氧化反應(yīng)，生成二氧化碳（可經(jīng)變壓吸附工藝去除），再經(jīng)凈化工藝得到高純氮?dú)?
技術(shù)特點(diǎn)+ 穩(wěn)定性好，氧含量最低可控制在1PPm以下。
+ 純度高，氮?dú)饧兌取?9.9999%。
+ 含水量低，大氣露點(diǎn)≤-60℃。
+ 不含氫適用于對(duì)氫、氧有嚴(yán)格要求的工藝。
技術(shù)指標(biāo)
+ 氮?dú)猱a(chǎn)量：10Nm3/h～3000Nm3/h
+ 氮?dú)饧兌龋?9.999-99.9999%
+ 氧含量：1-10PPm
+ 露點(diǎn)：≤-60℃
+ 含塵量：≤0.01μm
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