氮?dú)饧兓b置是用催化脫氧物理除水的工藝，使管道中（壓力≤0.5Mpa）的氮?dú)饧兓_(dá)到氮?dú)饧兓b置用戶所要求的高純氮，該氮?dú)饧兓b置廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、醫(yī)藥、化工、冶金、電力部門等行業(yè)。
一、使用環(huán)境
溫度：5℃～35℃
相濕度：45%～75%
大氣壓力：86Kpa～106Kpa
電源：380V±30V50HZ±2HZ
氮?dú)饧兓b置必須平穩(wěn)的放于室內(nèi)平整的地面上，切勿放置在氮?dú)饧兓瘷C(jī)應(yīng)用環(huán)境或通風(fēng)條件不良的環(huán)境中，運(yùn)行時(shí)必須開(kāi)啟門窗，保持通風(fēng)良好。
二、安全事項(xiàng)
1.31用戶必須提供三相五線制電源（TN-S）系統(tǒng)，若是三相四線制，必須增設(shè)接地極，本氮?dú)饧兓b置必須安全可靠接地，接地電阻＜0.5歐姆。
1.32氮?dú)饧兓b置純化工藝采用加氫除氧，室內(nèi)嚴(yán)禁明火存在，再生后廢氣（含有氮?dú)狻⑺?、痕量氫和氧）排出室外，按?dāng)?shù)丨h(huán)保要求處理，排出點(diǎn)周圍5m之內(nèi)不得有明火及堆放易燃物質(zhì)。
1.33產(chǎn)品氮?dú)馐且环N窒息性氣體，不允許直接排放于室內(nèi)，嚴(yán)禁在氮?dú)饧兓b置現(xiàn)場(chǎng)休息，睡覺(jué)，以防不測(cè)。
三、技術(shù)特性
1.原料氮?dú)?br />
a)含氧量≤5×10-3
b)露點(diǎn)≤-10℃
c)溫度≤35℃
d)壓力≤0.5Mpa
e)含塵量≤3500顆/升
2.原料氫氣
a)不含磷、砷雜質(zhì)
b)壓力0.2Mpa≤P≤0.5Mpa
3.純化后氮?dú)?br />
a)含氧量≤1×10-6
b)露點(diǎn)≤-60℃
c)壓力<0.1Mpa
d)最大功耗≤10KW
4.外型尺寸：（1850×1500×2500）
四、結(jié)構(gòu)特征及工作原理
1.整個(gè)氮?dú)饧兓b置具有良好的氣密性及抗污染能力，加熱氮?dú)饧兓b置采用內(nèi)熱式結(jié)構(gòu)，容器外圍采用新穎的保溫材料，散熱小，能耗低，無(wú)污染。
工藝上采用復(fù)式流程，能連續(xù)工作。
主件閥門采用截止閥，可靠性好，壽命長(zhǎng)。
2.工作原理
a)依據(jù)鈀催化劑不需要活化的特性，只有一個(gè)容器罐裝鈀觸媒，利用它的催化特性，加氫去除原料氣中的氧，生成的水氣（容器內(nèi)溫度超過(guò)100℃）隨大量的氮?dú)怆x開(kāi)鈀觸媒表面進(jìn)入干燥器。
O2＋H2ptH2O
b)干燥器中裝入U(xiǎn)OP（美國(guó)）5A分子篩物理吸附，氮?dú)庵兴郑瑑蓚€(gè)干燥塔輪流工作及再生，以達(dá)到連續(xù)工作目的。
3.氮?dú)饧兓b置流程
工作流程；原料氫氣經(jīng)流量計(jì)進(jìn)入管道與原料氮?dú)庖黄疬M(jìn)入除氧器中，在鈀催化劑中充分化合，生成水汽被大量氮?dú)鈳щx除氧器經(jīng)冷卻器逐步冷卻，再由冷干機(jī)降至常溫后最終進(jìn)入干燥塔，氮?dú)庵兴侄急?A分子篩物理吸附而除去，純化后氮?dú)饨?jīng)氮?dú)獬隹陂y去用戶工藝點(diǎn)。
再生流程，部分純氮去單向閥前由手動(dòng)閥門被導(dǎo)向另一處于再生狀態(tài)的干燥塔，此時(shí)，再生干燥塔內(nèi)溫度升至350℃，在此溫度下，被5A分子篩吸入的水分獲得大量能量，迅速?gòu)姆肿雍Y中逸出，被導(dǎo)入塔內(nèi)的高純氮帶離分子篩，經(jīng)放空閥排出，由于程控器的控制作用，再生干燥塔繼續(xù)通入純氮（此時(shí)加熱棒停止加熱）使之冷卻至常溫，以便切換時(shí)即可進(jìn)入工作狀態(tài)。
一塔可連續(xù)工作24小時(shí)，另一塔再生加熱10小時(shí)，強(qiáng)迫吹冷14小時(shí)，當(dāng)冷卻到常溫時(shí)，手動(dòng)切換二個(gè)干燥器塔，使之連續(xù)工作。
管道上有取樣閥，可連接微氧儀和微水儀進(jìn)行檢測(cè)。
五、安裝調(diào)試
1.安裝
*氮?dú)饧兓b置應(yīng)放在平整堅(jiān)固的地面上
*與氮?dú)饧兓b置連接的進(jìn)出管必須是無(wú)縫鋼管，無(wú)滲漏。
*連接電源線之前應(yīng)核對(duì)現(xiàn)場(chǎng)電源參數(shù)與氮?dú)饧兓b置，要求必須相符合。如無(wú)專用PE線，現(xiàn)場(chǎng)必須用50×5，L＝2.5m的角鋼垂直設(shè)于泥地之中，其頂端低于地面200mm,在離角鋼頂端50mm處焊接一個(gè)8×30mm的螺栓用于緊固接地銅線，接地極至氮?dú)饧兓b置，用不小于4mm平方的銅線連接，電阻小于0.5歐姆。
*管道閥門及氮?dú)饧兓b置系統(tǒng)必須密封良好，由于運(yùn)輸過(guò)程振動(dòng)及現(xiàn)場(chǎng)連管后，如懷疑有滲漏現(xiàn)象，可以對(duì)氣路系統(tǒng)進(jìn)行檢漏，可允0.5Mpa氮?dú)?，?4小時(shí)內(nèi)壓力表指針降值小于0.1Mpa
2.調(diào)試
在現(xiàn)場(chǎng)安裝完管道后，符合1.2、1.3及4.14條后，可以進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試，此時(shí)，可以用手動(dòng)方法進(jìn)行活化一個(gè)干燥塔。
作者：浙江遠(yuǎn)大空分設(shè)備有限公司
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